Brazos robóticos cerámicos impresos en 3D ofrecen precisión y durabilidad sin igual para la industria

El brazo robótico cerámico de alumina impreso en 3D es una solución de automatización de alto rendimiento diseñada específicamente paraFabricación de semiconductores, manipulación de obleas y producción automatizada. UtilizandoTecnología de impresión 3D DLP/SLA, se fabrica como un único componente integrado de99Cerámica de alumina de alta pureza (Al2O3) de 0,9%. Con propiedades excepcionales incluyendodureza ultra alta, resistencia térmica, resistencia a la corrosión y bajo coeficiente de expansión térmica, es ideal paralos ambientes de vacío, las condiciones químicas adversas y los procesos a altas temperaturas, garantizandoalta limpieza y estabilidaden aplicaciones de manipulación de obleas.

Principales aplicaciones

✅Manipulación de obleas de semiconductores: Control de vacío, posicionamiento y transferencia deOferta de 12 pulgadas
✅Equipos de grabado y deposición: Resistente al plasma para procesos PVD/CVD
✅Operaciones de alta temperatura: Funcionamiento continuo en300 °C y más
✅Líneas de producción automatizadas: Compatible con herramientas de extremo de brazo (EOAT) para una mayor productividad

Ventajas competitivas

Especificaciones técnicas

• La pureza material: ≥ 99,9% de Al2O3

• Tecnología de impresión: fotopolimerización DLP (precisión de ± 20 μm)

• Capacidad de carga útil: 5 kg (estándar)/10 kg (carga pesada)

• Repetibilidad:Precisión de posicionamiento ± 0,01 mm

• Rango de temperatura: -50 °C a 300 °C

• La rugosidad de la superficie: Ra≤ 0,1 μm (policable hasta 0,05 μm)

• Compatibilidad con el vacío: canales de aire integrados (filtración de 0,5 μm)

Proceso de fabricación

1. Modelado 3D: Diseño CAD + simulación de la trayectoria de manejo de las obleas

2. Preparación del estiércol: Mezcla de resina de nanoalumina + fotopolímero (55-58% de contenido sólido)

3. Impresión DLP: Curado capa por capa (20 μm de espesor)

4. Sinterización a alta velocidad: Densificación a 1650°C (117-122% de compensación por contracción)

5. Mecanizado de precisión: Recorte con láser + rectificación CNC (aplanamiento ± 0,02 mm)

6. Control de calidad: Inspección por rayos X + pruebas de fugas

Instrucciones de funcionamiento

¿Qué quieres decir?Notas importantes :

• Esterilizar en autoclave (121°C) antes del primer uso

• Evitar la exposición al ácido fluorhídrico (HF)

• Inspección conjunta mensualpara el desgaste y la integridad del vacío

• Utilice efectos finales de cerámicapara evitar daños en las obleas